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四探针电阻率测试仪
点击次数:240 发布时间:2019-02-19

对于半导体材料的电阻率,一般采用四探针、三探针和扩展电阻。

电阻率是反映半导体材料导电性能的重要参数之一。测量电阻率的方法很多,四探针法是一种广泛采用的标准方法。它的优点是设备简单、操作方便,度高,对样品的形状无严格要求。

常用的是直线型四探针。四根探针的针尖在同一直线上,并且间距相等,都是S,一般采用0。5mm的间距,不同的探针间距需要对测量结果做相应的校正。

一般目前的四探针电阻率(电导率)测试仪均已配置厚度的修正,通过厚度数值的设置,计算出不同的样品厚度对电阻率的影响。

3.1.电阻率测量范围、分辨率

率:10.0×10-6 k×200.0×103Ω-cm 分辨率1.0×10-6 0.1×103Ω-cm,k=110

3。2。电阻率量程划分及误差等级

满度显示

200.0

20.00

2.000

200.0

20.00

2.000

200.0

20.00

量程

KΩ-cm

Ω-cm

mΩ-cm

基本误差

±2%读数±4

±1.5%读数±4

±0.5%读数

±2

±0.5%读数

±4

3.3.数字电压表:

量程:10mV 100 mV,自动

显示: 4位有效数字,大显示999.9,小数点、单位自动显示

3.4.数控恒流源8档宽量程

电流输出:系统自动步进调整,直流电流0.1μA1.0μA,10μA100μA,1.0mA,10mA,100mA,1.0A8档可调。

3。5。粉末测试台部分参数:

1)试样成份:成份不限,但不得含有对测试台和电极有腐蚀作用的成份。

2)试样粒度:推荐以40目以下—60目以上(标准筛网),一般其他粒度也可!

3)料杯容积:截面:S=1.0cm2

高度:020mm可调,

4)自动高度测试单元,测量误差:±0.02mm

四位有效显示数00.0020.00mm,分别率±0.02mm

5)自动压强测试单元,

标准压强:P0=4Mpa±0.05Mpa。
压强量程:20Mpa, P=020 Mpa可调。

四位有效显示数00.0020.00MPa,分别率±0.01 MPa。
6)、压力机构采用手动操作、压力平稳可调。

3.6.配套PC软件

1 USB高速通讯接口。

2带数据库方式存储数据,便于历史查询和第三方软件拓展共享。

3自动生成excel形式的图表结合的测试报告,包含电阻率-压强曲线图形和详细测试数据。

4带测试报告预览、编辑、打印功能。

3.7.测试仪外形与重量

前宽××总高=250mm×220 mm×540mm

=10Kg

3。8。电源:

耗:< 10W

输入:220V±10% 50Hz

3。9。本仪器工作条件为:

度: 0-40℃

相对湿度: ≥60%

工作室内应无强电磁场干扰,不与高频设备共用电源。

 

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